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本发明涉及一种行波天线等离子体源,由六个环形天线构成,放在真空室外;前端的第一个天线接射频源作为电源馈入端,中间四个天线短路作为耦合端,末端天线接50Ω假负载作为吸收端。本发明可以获得高耦合效率且反射低的射频等离子体源,耦合效率可以达到100%,反射功率可以降到零。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113301702 B
(45)授权公告日 2022.07.15
(21)申请号 202110551062.1 (56)对比文件
(22)申请日 2021.05.20
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