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一种衬底装载装置包括：框架，其适于将衬底装载装置连接到衬底处理设备，该框架具有运输开口，衬底通过该运输开口在装载装置和处理设备之间运输；盒支撑件，其用于保持至少一个衬底盒容器；以及具有设置在盒支撑件上的吹扫端口喷嘴位置的盒支撑件吹扫端口，每个喷嘴位置被构造成使得在该喷嘴位置处的喷嘴联接到衬底盒容器的至少一个吹扫端口，其中，每个喷嘴位置限定可互换吹扫端口喷嘴接口，使得不同的可互换吹扫端口喷嘴可移除地安装到喷嘴位置的相应的喷嘴接口，所述喷嘴位置对应于可互换吹扫端口喷嘴模块的不同喷嘴构型，所述可互换吹
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113330548 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 201980090653.4 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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