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本公开涉及一种红外探测器及其制备方法，红外探测器包括衬底以及位于衬底上的热敏层、介质层、电极层和钝化层，介质层位于热敏层和电极层之间，热敏层位于介质层临近衬底的一侧，钝化层位于电极层远离衬底的一侧；红外探测器包括多个矩阵排列的红外探测器像元，红外探测器像元包括吸收板结构、至少两个微桥柱和至少两个梁结构，吸收板结构通过对应的梁结构连接至对应的微桥柱；热敏层覆盖吸收板结构和梁结构所在区域，钝化层覆盖吸收板结构和梁结构所在区域；其中，构成热敏层的材料包括非晶硅、非晶碳、非晶锗或非晶硅锗中的一种或几种。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113328002 B
(45)授权公告日 2022.01.18
(21)申请号 202110138399.X H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日
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