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本发明涉及一种由石英坯件制造的构件的应用,在所述构件中通过选择性激光蚀刻产生至少一个空腔(8、8”、8”;13、14、14;9.1、9.2、9.3、9.4、9.5;35、36、37、38、39、40、41)作为CVD反应器(1)的组件,其中,流体穿流至少一个空腔(8、8”、8”;13、14、14;9.1、9.2、9.3、9.4、9.5;35、36、37、38、39、40、41),并且构件在其应用中被加热到500℃以上的温度,并且与IV、V或者VI主族的氢化物和/或有机金属化合物或者II、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113302333 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 201980089016.5 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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