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本发明提供了一种基于压电薄膜的液态金属驱动装置、驱动控制方法及制备方法,该驱动装置包括基底与盖板,基底上形成有柔性微通道结构,在柔性微通道结构的一端形成有能够容纳液态金属的液态金属储液池,柔性微通道结构上集成有薄膜结构,薄膜结构在电压控制下发生位移形变,并使得柔性微通道结构发生形变,从而通过挤压作用驱动填充在柔性微通道结构内的液态金属流动。本发明实现了液态金属在柔性微通道结构中的可逆连续性或阶梯性流动控制,使液态金属可以更高精度、大尺度流动,并且液态金属在流道结构中的位置可精确控制,可应用于伪装
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113323848 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110614732.X
(22)申请日 2021.06.02
(71)申请人 北京机械设备研究所
地
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