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本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统,涉及大型精密装备隔振技术领域,包括隔振组件及承载平台,隔振组件设置于精密装备下方,承载平台为多个,多个承载平台在精密装备内竖向排布,且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装备隔振系统,在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台,并一体化受控于隔振组件之上,通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振,解决了困扰业界许久的问题,该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上,还能够大幅降低投入和运行成本,提高精密装备检测效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113294487 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110677299.4 F16F 15/08 (2006.01)
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