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一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质.pdf

    本发明公开一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质，涉及神经网络技术领域，以解决设备的多个工艺参数之间关联性较大的技术问题。上述基于神经网络的工艺参数分析的方法包括：根据多个工艺过程产生的工艺参数的时序数据创建测试数据集，其中，每个工艺过程均包括多个工艺参数。将测试数据集输入至神经网络分类模型中，提取出各个工艺参数相应的特征向量，其中，神经网络分类模型包括多个门控循环网络，每个门控循环网络用于对一个工艺参数的时序数据进行特征提取。根据特征向量与神经网络分类模型中全连接层的权值，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113326853 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110667822.5 G06N 3/08 (2006.01) (22)申请日 20

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