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本发明涉及化学机械抛光加工技术领域，公开了一种金刚石晶片复合抛光加工方法，包括如下步骤：步骤一：配置芬顿反应液和光催化反应液；步骤二：采用紫外光照射步骤一配置好的芬顿反应液和光催化反应液；步骤三：将金刚石工件安装在抛光加工装置的工件盘上，并使抛光加工装置的抛光垫与金刚石工件接触，然后输送经过步骤二中经过紫外光照射的芬顿反应液和光催化反应液到抛光垫上；步骤四：使抛光垫与金刚石作相对旋转运动进行抛光，步骤二产生的大量的羟基自由基·OH，加快抛光加工过程中磨粒对工件表面材料的去除，能够有效地提高金刚石
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113290501 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110662117.6
(22)申请日 2021.06.15
(71)申请人 广东工业大学
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