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本公开涉及一种判断叠对误差的方法及系统，包括在一基板上方设置参考图案模块。上述基板包括位在第一及第二位置的第一及第二叠对测量图案。参考图案模块包括第一及第二参考图案。上述方法包括创建第一参考图案与第一叠对测量图案的第一重叠，以及创建第二参考图案与第二叠对测量图案的第二重叠。上述方法还包括判断参考图案模块的第一参考图案与基板的第一叠对测量图案之间的第一叠对误差，以及判断第二参考图案与第二叠对测量图案之间的第二叠对误差。上述方法亦基于第一及第二叠对误差，判断基板的第一与第二叠对测量图案之间的整体叠对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113311668 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110190066.1
(22)申请日 2021.02.18
(30)优先权数据
16/803,98
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