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- 2023-06-20 发布于四川
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本申请提供了一种微流控装置及其制作方法和微珠筛选方法,微流控装置包括层叠设置的第一基板和第二基板,第一基板包括有依次连通的第一输入流道、第一流道和第一输出流道,第二基板包括有依次连通的第二输入流道、第二流道和第二输出流道,第一流道和第二流道包括第一交叠部,第一交叠部连通第一流道和第二流道,第一交叠部在第一基板所在平面的投影既位于第一流道在第一基板所在平面的投影内,也位于第二流道在第一基板所在平面的投影内。该微流控装置通过刻蚀、键合形成,结构简单易制作。当密度不同的微珠样本进入第一流道,部分微珠上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113318799 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110739783.5
(22)申请日 2021.06.30
(71)申请人 上海天马微电子有限公司
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