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2023-06-20 发布于四川
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本发明涉及用于椭偏确定样品(12)的特性的方法，该方法包括以下步骤：‑将样品(12)定位在椭偏仪(10)中，其中，样品表面的测量区域的面法线(n)相对于椭偏仪(10)的参考轴线(z)倾斜，‑针对测量区域测量缪勒矩阵；‑根据使所测得的缪勒矩阵与如下矩阵的矩阵乘积相等来建立至少非欠定的方程组：+关于输入旋转角(γ)的旋转矩阵，+归一化的NCS形式的各向同性的缪勒矩阵，和+关于输出旋转角(‑δ)的旋转矩阵；‑根据代表待确定的样品特性的参数求解所述方程组。本发明的特征在于，在建立方程组时，将输入旋转角(

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113302471 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 202080009440.7 (74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限

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