ICP等离子体仪器及原理介绍.pptxVIP

ICP等离子体仪器及原理介绍第1页/共51页 Title of PresentationDatePage 2Agilent 4500 - #1 selling ICP-MS worldwide 1995 -1998 inclusive!! Source - Myers Assoc Market Study 2/99 等离子体色谱软件Agilent 4500 SeriesAgilent 7500 SeriesShieldTorch Interface安捷伦ICPMS的发展历史1987年: 第一代产品，第一台计算机控制ICPMS仪器，型号PMS-100。 1988年：第二代产品，型号PMS-200,高基体分析接口。 1990年：第三代产品，型号PMS-2000。技术发明：Omega离轴偏转透镜 “被证明优于采用中心光子阻挡片的透镜－《电感耦合等离子体质谱手册》 1992年：发明专利屏敝炬系统（ShieldTorch） 应用于半导体行业ppt级K, Ca, Fe等元素的测定 1994年：第四代产品，型号HP4500。 第一台台式ICP-MS 1998年：第五代产品，HP4500+；发明Plasma-Chrom软件， 使ICPMS与色谱技术联用实现一体化，使形态分析成为标准技术 1999年：HP4500按专业应用分为100型，200型，300型。2000年：第六代产品，Agilent7500系列, 按专业应用区分：7500a：基本配置；7500i：快速、大量样品分析；7500s：半导体行业专用； 2001年：第七代产品，Agilent 7500c第一代八极杆反应池系统 应用于环保、海水、临床、医药等高基体样品的分析及联用技术和形态分析　　　2002年：第八代产品，Agilent 7500cs，第二代八极杆反应池系统 应用于半导体高纯样品及其他高基体样品的分析 2003年：第九代产品Agilent 7500ce 应用于海水、临床、医药、环保及联用技术和形态分析，高性能 2007年：第十代产品Agilent 7500cx HMI系统使仪器在高基体样品分析中更加稳定，高效 第2页/共51页 2009 Agilent 7700 series ICP-MS 上市第3页/共51页 Title of PresentationDatePage 4ICP-MS的应用领域分布环境: 49%饮用水、海水、环境水资源食品、卫生防疫、商检等土壤、污泥、固体废物生产过程QA/QC，质量控制烟草／酒类质量控制, 鉴别真伪等Hg, As, Pb, Sn等的价态形态分析半导体: 33%高纯金属(电极)高纯试剂(酸,碱,有机)Si 晶片的超痕量杂质光刻胶和清洗剂医药及生理分析6%头发、全血、血清、尿样、生物组织等医药研究，药品质量控制药理药效等的生物过程研究地质学: 2%金属材料，合金等土壤、矿石、沉积物同位素比的研究激光熔蚀直接分析固体样品核工业: 5%核燃料的分析放射性同位素的分析初级冷却水的污染分析化工，石化等: 4%RDQA/QC法医，公安等: 1%射击残留物分析特征材料的定性来源分析毒性分析第4页/共51页 Title of PresentationDatePage 5什么是ICP-MS?ICP - Inductively Coupled Plasma 电感耦合等离子体 质谱的高温离子源样品蒸发、解离、原子化、电离等过程 MS - Mass Spectrometer 质谱四极杆快速扫描质谱仪通过高速顺序扫描分离测定所有元素高速双通道模式检测器对四极杆分离后的离子进行检测一种强有力的无机元素分析技术+ICP-MS的基本原理与Agilent 7700介绍第5页/共51页 Title of PresentationDatePage 6氩的第一电离能高于绝大多数元素的第一电离能(除He、F、Ne外)，且低于大多数元素的第二电离能(除Ca、Sr、Ba等)。因此，大多数元素在氩气等离子体环境中，只能电离成单电荷离子，进而可以很容易地由质谱仪器分离并加以检测。Ar 等离子体中各元素的电离特性第6页/共51页 Agilent 7700 ICP-MS 系统详图高基体进样系统(HMI) 稀释气入口半导体冷却控温雾室离轴偏转透镜低流速进样高速频率匹配的 27MHz 射频发生器高性能真空系统池气体入口高频率 (3MHz) 双曲面四极杆快速同时双模式检测器 (9 个数量级线性动态范围)高离子传输效率、耐高盐接口第3代八极杆反应池系统