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2023-06-21 发布于四川
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一种晶圆抓取装置及控制方法.pdf

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本发明涉及晶圆制造技术领域，公开了一种晶圆抓取装置及控制方法，所述晶圆抓取装置，包括盒体和吸附端，吸附端设置于盒体一侧，盒体底部设置有控制器，吸附端包括吸附机构，吸附机构包括若干个负压凹槽，弹性联动组件，设置在负压凹槽内部。通过进气转换阀更换关闭一个进风机构连接的通风管道，使得吸附机构由一个进风机构提供动力源，使得抓取装置可以短时间内持续工作，利用双口进气模式在抓取装置正常工作时，一侧进风机构出现故障后，能够及时应急，更换成单口进气模式，进而保证晶圆片抓取不会中断，并且进一步保证晶圆片在传输时的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113380689 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110631220.4 (22)申请日 2021.06.07 (71)申请人深圳市星国华先进装备科技有限公

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