原创力文档- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种真空脱脂烧结系统及其使用方法,包括真空管路和脱脂机构，真空管路至少包括一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路，一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的系统压力，脱脂机构对工件进行脱脂处理，本发明采用高真空气动挡板阀作为各回路的开关阀，采用旋片泵获得系统低真空1‑10Pa，满足脱脂工艺要求和油扩散泵的启动要求，采用罗茨泵作为系统二级泵，是油扩散泵的前级泵，通过旋片泵与罗茨泵的组合运行，系统获得压力值为10‑1‑10‑2Pa的真空，采用油扩散泵作为系统主泵，通过旋
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113340095 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110401724.7 F27B 5/18 (2006.01)
文档评论（0）