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本发明公开了一种适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，包括沿激光入射方向的光轴上依次排列的第一透镜、第二透镜和第三透镜；其中，所述第一透镜和第二透镜为平凹透镜，且凹面都朝向激光入射方向；所述第三透镜为平凸透镜，凸面朝向激光出射方向，本申请中扩束镜专为入射光斑直径尺寸小于1mm设计，激光器内部三倍频晶体之后的紫外激光的光路上不需额外的扩束机制；所述第一透镜和第二透镜都是曲率半径较小的平凹透镜且凹面全部朝向激光入射方向，既可以使入射的高功率密度紫外激光束快速发散，完全没有会聚作用，从而有效保护第
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113376844 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110638524.3
(22)申请日 2021.06.08
(71)申请人 富通尼激光科技（东莞）有限公司
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