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本发明提供了一种用于校准粒子束的垂直度的方法。方法包括：提供具有第一传感器和第二传感器的基板；将粒子束从发射器发射至基板的第一传感器，使得在第一传感器接收到粒子束时，收集第一数据；将粒子束从发射器发射至基板的第二传感器，使得在第二传感器接收到粒子束时，收集第二数据；基于第一数据和第二数据来计算第一校准数据；以及如果第一校准数据处于第一预定范围外，则基于第一校准数据来调整基板或发射器。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113363197 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110630508.X
(22)申请日 2019.10.30
(62)分案原申请数据
2019800
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