原创力文档- 1、本文档共16页，其中可免费阅读15页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明的一种晶圆片厚度分选方法，将厚度检测后的晶圆片进行分选存储，存储设备在存放并输送晶圆的输送带的两端分别设有顶部传感器和底部传感器，设有驱动电机用于驱动输送带，当存储设备存储完成后将其中的晶圆片进行搬运时，驱动电机驱动输送带带动晶圆上升，当顶部传感器检测到输送带顶部有晶圆时，顶部传感器发送中断信号给驱动电机，驱动电机停止转动使得晶圆保持在设定高度，此时机械手将顶部的晶圆取走，不断循环完成转移。通过以上的每次晶圆触发顶部传感器发出中断信号使得传送带立即停止，保证晶圆举升高度的一致性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113351514 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110491939.2 B07C 5/36 (2006.01)
文档评论（0）