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本发明公开了一种用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的方法及装置，本发明方法包括将一块反射平晶置于导轨工作面上方且与导轨工作面保持45°角，通过波面干涉仪通过反射平晶向加载情况下的气浮导轨的工作面发射干涉激光光束，并将加载情况下的气浮导轨的工作面的面形误差通过反射平晶反射回波面干涉仪接收端，得到加载情况下的气浮导轨的工作面的单个位置的变形，并将各个位置的变形拼接得到气浮导轨全行程的变形测量结果。本发明能够实现使用光学玻璃材料的高精度气浮导轨的变形测量，测量过程简单，测量结果可靠，测量精度高，可方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113340222 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110571014.9 (56)对比文件
(22)申请日 2021.05.25
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