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一种铁电存储器器件包括多层堆叠件、沟道层和基于III‑V的铁电层。该多层堆叠件布置在衬底上并包括交替堆叠的多个导电层与多个介电层。该沟道层穿透多层堆叠件的多个导电层和多个介电层。该基于III‑V的铁电层布置在沟道层与多层堆叠件之间,并包括选自III族元素的至少一种元素、选自V族元素的至少一种元素和选自过渡金属元素的至少一种元素。本发明的实施例还公开了形成铁电存储器器件的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380825 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110516834.8 H01L 27/11592 (2017.01)
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