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本发明提供分割方法和分割装置，能够形成期望宽度的分割槽。分割方法是沿着分割预定线形成有改质层并且粘贴在扩展片上的被加工物的分割方法，该分割方法包含如下的步骤：分割步骤，对扩展片进行扩展并沿着改质层对被加工物进行分割，形成沿着分割预定线的分割槽；扩展解除步骤，在实施了分割步骤之后，解除扩展片的扩展；以及槽宽度调整步骤，在实施了扩展解除步骤之后，对扩展片进行扩展而将分割槽形成为期望的宽度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113363147 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110223522.8
(22)申请日 2021.03.01
(30)优先权数据
2020-0363
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