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本发明公开了一种卧式加热炉管的位置调整装置,包括:固定板,与机架固定连接;上下调节板,包括水平板和竖直板,竖直板与固定板的侧面在竖直方向上通过竖直导向结构滑动配合;上下调节导向板和竖直调节组件,上下调节导向板与固定板的侧面滑动配合,上下调节导向板位于上下调节板的下方;竖直调节组件用于调节上下调节导向板的在竖直方向上的位置,以带动炉管沿竖直方向移动;左右调节板和水平调节组件,左右调节板通过水平导向结构滑动设置于水平板上,水平调节组件用于调节左右调节板在水平方向上的位置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380668 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110486102.9
(22)申请日 2021.04.30
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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