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本发明提供的光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质，通过获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；根据量化指标，调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。可见不跟发明实现了光斑形变成因的量化，并根据量化指标对光学元件进行空间自由度的调节，从而对光斑进行调节。基于此，本发明可以对光斑形变进行自动化调节，形成自动反馈，从而保证检测设备的光斑稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113379645 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110760279.3
(22)申请日 2021.07.06
(71)申请人 深圳中科飞测科技股份有限公司
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