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到受体衬底的选择性微型器件转移.pdfVIP

到受体衬底的选择性微型器件转移.pdf

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    本申请涉及到受体衬底的选择性微型器件转移。一种将微型器件从施体衬底选择性地转移到受体衬底上的接触焊盘的方法。微型器件通过施体力附接至施体衬底。该施体衬底和该受体衬底对准并且被放在一起，从而使得所选择的微型器件满足相应的接触焊盘。生成受体力以将所选择的微型器件固持到该受体衬底上的该接触焊盘。减弱该施体力并且移开该衬底，使得所选择的微型器件在该受体衬底上。公开了生成该受体力的若干方法，该若干方法包括粘合技术、机械技术和静电技术。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410146 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110684431.4 (72)发明人 戈尔拉玛瑞扎 ·恰吉　

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