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本发明涉及过滤吸收器的气密性检测装置，具体为一种气密检测仪，其变频器的三相电输出端连接气泵，工业可编程控制器的电源端通过电源开关和外部一相交流电连接，工业可编程控制器的输出端和变频器的控制端连接，工业可编程控制器还和人机界面连接，气泵的输出端连接质量流量计，质量流量计连接气路输出接口，压力变送器连接气路输入接口，压力变送器、质量流量计和工业可编程控制器的输入端连接。本发明采用气泵提供气源，通过工业可编程控制器和变频器对气泵调节，实现不同产品所需不同空气流量的自动调节，提高检测效率；采用高精质量流
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113418664 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110834572.X
(22)申请日 2021.07.23
(71)申请人 山西新华防化装备研究院有限公司
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