薄膜催化剂的生产设备及生产方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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薄膜催化剂的生产设备及生产方法.pdf

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本发明提供一种薄膜催化剂的生产设备及生产方法，生产设备包括真空仓、多个蒸发器、多根导气管、离子发生器以及控制单元。多个蒸发器用于蒸发至少一种膜料。多根导气管用于提供反应气体。离子发生器用于将反应气体以及蒸发后的所述膜料离子化。控制单元控制真空仓抽真空，并同时开启多个蒸发器中的至少两个蒸发器，控制导气管提供反应气体以及控制调节离子发生器的离子源电流大小，以使蒸发后的膜料与反应气体反应以于基材表面蒸镀形成催化膜层。本发明可以解决现有制备中高熵合金薄膜及多金属元素陶瓷薄膜催化剂技术中存在的生产效率低、

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113413895 B (45)授权公告日 2022.03.29 (21)申请号 202110780326.0 B01J 23/885 (2006.01)