顶针安装治具及方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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顶针安装治具及方法.pdf

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本公开是关于一种顶针安装治具及方法，所述顶针安装治具用于安装静电卡盘上的顶针，包括：定位托盘，可拆卸地设置在静电卡盘的外侧底座上，所述定位托盘设置有安装孔，所述安装孔与静电卡盘上的顶针的安装位置对应设置；安装治具，可拆卸地安装于所述安装孔以调节顶针的安装深度。本公开实施例同时保证顶针的顺利安装和安装效率，可以精确调节顶针的安装深度，保证各顶针的安装深度的一致性，确保顶针所支撑的半导体器件的位置稳定性，避免产生加工误差或报废，提高生产的良品率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113414737 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110780924.8 (56)对比文件