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2023-06-22 发布于四川
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本申请公开了一种识别方法。识别方法用于识别特征图案阵列的偏转角度，每个特征图案包括位置已知的特征点，识别方法包括：选取一个特征点作为第一基准点；搜索与第一基准点共线的一个或多个特征点作为拟合点；拟合第一基准点与拟合点，以得到沿第一方向延伸的第一基准线；基于第一基准线识别特征图案阵列的偏转角度。本申请还公开了一种识别装置、半导体处理设备及计算机可读存储介质。通过在已知位置的特征点中选取第一基准点，并拟合第一基准点与一个或多个拟合点，以得到第一基准线，第一基准线反映了特征图案阵列的偏转角度信息，依据

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113421239 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110697412.5 (22)申请日 2021.06.23 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

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