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压力传感器装置以及用于制造压力传感器装置的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-22 发布于四川
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压力传感器装置以及用于制造压力传感器装置的方法.pdf

    本发明涉及一种用于压力传感器(1)、尤其是电容式压力传感器(1)的压力传感器装置(10)，所述压力传感器装置具有由所述压力传感器装置(10)的能够运动的感测膜片(178)和位置固定的对应电极(132)限界的压力空间(12)，其中，所述感测膜片(178)和所述对应电极(132)分别在所述压力传感器装置(10)的纵向方向(Lr)和横向方向(Qr)上走向，其中，所述感测膜片(178)相对于所述对应电极(132)借助于至少一个微机械的弹簧元件(155)、尤其是多个微机械的弹簧元件(155)直接地或者间接

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396323 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202080011766.3 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司

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