一种调整耦合线圈位置实现引出粒子密度调节的装置.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种调整耦合线圈位置实现引出粒子密度调节的装置.pdf

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本发明公开一种调整耦合线圈位置实现引出粒子密度调节的装置，包含放电腔体、上过渡法兰、下过渡法兰、耦合线圈、绝缘部件、线圈支架、步进电机及齿轮组、滑轨、柔性电缆、射频功率源和和阻抗匹配网络。耦合线圈与放电腔体相对位置不固定，耦合线圈通过绝缘部件连接线圈支架，线圈支架同时容纳步进电机及齿轮组的安装位置，通过控制步进电机在滑轨上的运动来调节耦合线圈在放电腔体的轴向上进行运动，调整下过渡法兰附近的等离子体密度，实现引出粒子密度调节。耦合线圈与阻抗匹配网络之间通过柔性电缆连接。本发明降低了对射频功率源调整

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113411944 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110666882.5 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院