一种大矢高凸球柱面微透镜阵列的刨削加工装置.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种大矢高凸球柱面微透镜阵列的刨削加工装置.pdf

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本发明公开了一种大矢高凸球柱面微透镜阵列的刨削加工装置，该装置包括：超精密车削机床、刨削运动装置和真空吸附系统，刨削运动装置设置于超精密车削机床的X轴进给平台上，Y轴工作台设置于主轴平面上，真空吸附系统设置于Z轴进给平台上，Z轴进给平台与X轴进给平台位于同一平面内且相互垂直，X轴进给平台和Z轴进给平台呈T型分布。数控系统控制刨削运动装置带动刨削面板移动并切削。本发明属于超精密加工领域，可实现刨削单次加工切削深度的控制，金刚石刨削车刀在X轴和Z轴进给加工阵列微结构时，单次切削深度的变化可实现同曲面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113369949 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110775116.2 (22)申请日 2021.07.08 (71)申请人中国科学院光电技术研究所