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本发明属于传感装置技术领域，具体涉及一种声波传感器，包括壳体，所述壳体内壁的一侧设置有激光器，所述激光器底端设置有探测器，所述壳体内壁底端远离激光器的一侧设置有衬底，所述衬底远离激光器的一侧设置有纳米团簇，所述纳米团簇远离衬底的一侧设置有反光部，所述反光部远离纳米团簇的一侧设置有悬臂梁。本发明采用悬臂梁感应声波，悬臂梁的高机械灵敏度使得传感器具有较高的灵敏度，而且通过纳米团簇和反光部之间微小间距的变化，改变反射光的波长，进而测量声波，具有非常高的精确度和灵敏度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113432705 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110532402.6
(22)申请日 2021.05.17
(71)申请人 李永选
地址 711
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