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本发明提供一种MEMS差压传感器及其制造方法，其中MEMS差压传感器包括具有腔体的基底层、架设在基底层的腔体之上的压力敏感膜，以及设置在压力敏感膜远离基底层一侧的保护壳；其中，在静止状态下，压力敏感膜与腔体的底部之间以及与保护壳之间的垂直距离均小于压力敏感膜的最小过载形变量；腔体的底部和保护壳分别形成对压力敏感膜的两侧进行限位的限位结构。利用上述发明能够实现MEMS差压传感器的双向抗高过载，且性能稳定、尺寸小。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113432778 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110572090.1
(22)申请日 2021.05.25
(71)申请人 歌尔微电子股份有限公司
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