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检测装置.pdfVIP

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  • 2023-06-22 发布于四川
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检测装置.pdf

    本公开涉及检测装置。该检测装置包括：供晶圆框架滑动的滑动平面；限高部件，限高部件的底面平行于滑动平面，并且限高部件的底面与滑动平面相隔预设距离。该检测装置使得翘曲量不超过最大翘曲量的晶圆框架得以顺利通过，而翘曲量超过最大翘曲量的晶圆框架无法通过，从而简便、快捷、准确地实现晶圆框架的翘曲检测，防止因晶圆框架翘曲引起部件损坏，避免相关的经济损失。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394131 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110488195.9 (22)申请日 2021.05.06 (71)申请人 日月光半导体制造股份有限公司

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