一种金刚石薄膜热导率的测量装置及测量方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种金刚石薄膜热导率的测量装置及测量方法.pdf

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本发明提供了一种新型的金刚石薄膜热导率测量思路，并设计出了对应的测量装置。上述热导测量装置包括直流电源、加热电极、光路组件、单色非相干光源和CCD探测器。由直流电源在加热电极上加电压，电极通电后产生焦耳热，并传递到被测金刚石样品上，在金刚石样品表面产生一个温度分布。样品表面的温度分布可通过基于CCD的热反射法测量，最后通过热仿真拟合实验温度分布得到金刚石样品的热导率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113418959 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110775314.9 (22)申请日 2021.07.08 (71)申请人哈工大机器人（中山）无人装备与人