- 1、本文档共35页,其中可免费阅读34页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种能缩短形成低表面张力液体的液膜所需的时间并良好地排除液膜的基板处理方法。该方法包括:基板保持工序,将基板保持为水平;处理液供给工序,向基板供给包含水的处理液;基板旋转工序,使基板旋转;液膜形成工序,使基板以第一旋转速度旋转且向上表面供给表面张力低于水的低表面张力液体,使处理液置换为低表面张力液体,在上表面形成低表面张力液体的液膜;旋转减速工序,在处理液被置换为低表面张力液体后,继续进行液膜形成工序且使旋转减速到低于第一旋转速度的第二旋转速度;开口形成工序,在液膜形成工序结束后,在以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113421819 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110673589.1
(22)申请日 2017.08.30
(30)优先权数据
您可能关注的文档
- 一种利用辐照耦合混凝沉淀手段连续处理实际印染废水的方法.pdf
- 一种波流耦合模拟实验水槽.pdf
- 一种基于量子密码的区块链数字签名方法、装置及系统.pdf
- 一种智能化生产的手机模组制造方法.pdf
- 游戏任务的处理方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 提升低温热源温度的装置及其使用方法.pdf
- 一种集成的高压大流量比例溢流式卸载阀.pdf
- 一种木地板生产加工用抛光打蜡智能加工设备.pdf
- 一种重型商用车驾驶员动态盲区的检测方法.pdf
- 一种自动弯管冲孔机.pdf
- 江苏省灌云高级中学2023-2024学年高三上学期第一次月考地理试题含答案.docx
- 备战2024年高考物理一轮重难点复习 第十三章 近代物理.docx
- 江苏省高邮市一中2021-2022学年高三上学期第一次月考语文试题(原卷版).docx
- 江苏省华罗庚中学2023-2024学年高三上学期12月阶段检测数学试卷含答案.docx
- 江苏省海门中学2023-2024学年高三上学期第一次调研考试地理试题及答案.docx
- 备战2024年高考物理一轮重难点复习 第九章 恒定电流.docx
- 江苏省高邮市2023-2024学年高三下学期3月学情调研数学试题含答案.docx
- 备战2024年高考物理一轮重难点复习 实验十一:探究影响感应电流方向的因素.docx
- 备战2024年高考物理一轮重难点复习 实验三:验证平行四边形定则.docx
- 备战2024年高考物理一轮重难点复习 第十四章 光.docx
文档评论(0)