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本发明公开了一种MEMS压力传感器,包括陶瓷基台、MEMS压力芯片以及保护罩;所述陶瓷基台内设置有陶瓷电路板组,所述MEMS压力芯片设置于所述陶瓷基台上并与所述陶瓷电路板组电性连接,所述保护罩安装于所述陶瓷基台上并包裹所述MEMS压力芯片,所述陶瓷基台上开设有第一通孔,所述MEMS压力芯片上开设有第二通孔,所述第一通孔与第二通孔连通,所述陶瓷基台的边缘设有凸缘。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113447167 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110870028.0
(22)申请日 2021.07.30
(71)申请人 武汉奥特多电子科技有限公司
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