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本发明属于半导体氧化物气体传感器技术领域,公开了一种氧化铟基气体传感器制备方法、检测甲醇的方法,所述氧化铟基气体传感器检测甲醇的方法,包括:当传感器暴露于空气中,空气中的氧气将吸附在材料表面上,氧分子将会捕获电子,从而传感器在空气中呈现出高阻态;当传感器放置于甲醇气体中时,甲醇分子将与吸附氧发生反应并释放电子,从而传感器呈现出电阻降低的趋势。本发明使用NaF作为合成模板,进行喷雾热解反应。该反应过程绿色无污染,合成过程简单,为使用喷雾热解法合成金属半导体氧化物提供了一个新的思路。本发明对于不同浓
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113447531 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110560782.4
(22)申请日 2021.05.21
(71)申请人 西安电子科技大学芜湖研究院
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