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本发明提供了一种多边形靶材及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将靶材的焊接面车削螺纹，并在背板的焊接面上车削焊接凹槽；将处理后的靶材和背板装配后进行热等静压焊接，得到焊接组件；在焊接组件的背板背面车削凹槽，然后依次对焊接组件进行外圆车削和外形铣削，得到多边形靶材组件。本发明所述方法采用先焊接、再外形铣削的方式，能够避免传统方法中前后两次铣削的问题，并通过增加车削量而减少铣削量，提高生产效率；所述方法中焊接后在背板的背面上车削凹槽，能够校正焊接后变形靶材的平面度，而外圆车削时车削厚度的控制，可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113547334 B
(45)授权公告日 2022.07.15
(21)申请号 202110897276.4 B23K 20/02 (2006.01)
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