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提供一种适于确保包含多个旋转叶片以及粒子输送部的旋转体整体的平衡并且防止从真空泵向真空腔室侧的粒子的回流的真空泵。真空泵(P1)在从吸气口到排气口之间具备将气体分子进行排气的多个排气段(PT)、将粒子向气体分子的排气方向输送的粒子输送部(PN),粒子输送部为,通过在构成最上段的排气段的多个旋转叶片(7)中将至少一部分的上游端的高度增高或降低而作为最上段的排气段整体成为上游端的高度不同的阶差结构,从而作为将粒子向气体分子的排气方向输送的机构而起作用,由多个旋转叶片以及粒子输送部、支承该多个旋转叶片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113454344 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202080017949.6 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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