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一种红外探测器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-23 发布于四川
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一种红外探测器及其制备方法.pdf

    本发明涉及一种红外探测器及其制备方法，属于探测器技术领域，该探测器包括：衬底，所述衬底包括光子晶体阵列，所述光子晶体阵列位于所述衬底的底部，所述光子晶体阵列包括n组四色探测单元，一组所述四色探测单元包括四个光子晶体组，每个所述光子晶体组包括四个不同波段的光子晶体；外延层，在所述衬底表面外延得到，所述外延层包括焦平面阵列台面，所述焦平面阵列台面位于所述外延层的顶部，所述焦平面阵列台面的凸出部分为像元；所述光子晶体阵列与所述焦平面阵列台面相对设置，其中所述光子晶体组与所述像元相对设置；其中，n为大于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113488558 B (45)授权公告日 2022.04.29 (21)申请号 202110764262.5 H01L 31/18 (2006.01)

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