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用于运用纳米压印或辊对辊制造电子结构和天线耦合太赫兹膜的系统和方法.pdfVIP

用于运用纳米压印或辊对辊制造电子结构和天线耦合太赫兹膜的系统和方法.pdf

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    一种ACT膜具有多个整流天线，该等整流天线各自具有天线和二极管。该ACT膜是使用纳米压印光刻和辊对辊工艺来制造的。压印模板覆盖在具有由一个或多个氧化物层分离的两个金属层的原料上。蚀刻该原料以暴露下金属层。对下金属层进行底切以在下金属层中产生不连续性，以避免与该整流天线中的该二极管短路。还制作超材料膜。为了完成该ACT膜的制造，使该整流天线膜与该超材料膜对准，以确保该整流天线膜中的该等整流天线在该超材料膜中位于该等超材料中的孔上方。一旦对准，则该整流天线膜与该超材料膜接合在一起。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113454847 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202080015731.7 布拉德利 ·佩尔茨　

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