一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘.pdf

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本发明提供了一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘，具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘包括卡榫、动力单元和吸盘本体，动力单元设置有容置凹槽，空心轴上设置有安装孔。卡榫的中部设置有避让轴段，沿着避让轴段的两端延伸设置有固定轴段，固定轴段与避让轴段之间设置有配合轴段，配合轴段的侧面至少对称设置有两个配合平面。卡榫通过配合平面安装在凹槽内，吸盘本体与动力单元之间是为上下套接的状态，吸盘本体由上至下的套接在动力单元的输出轴上。而通过避让轴段可以连通中心孔与吸盘本体上的真空气道，使得吸盘本体的顶面上具有吸附力。利

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113565885 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202110667887.X H01L 21/683 (2006.01) (22)申请日 2021.0