- 1、本文档共7页,其中可免费阅读6页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种通过化学气相沉积制备晶圆级二维In2Se3薄膜的方法;属于晶圆级二维半导体材料薄膜制备领域。本发明要解决现有机械剥离法制备获得的二维In2Se3尺寸过小且难以控制,以及脉冲激光沉积制备成本过高、性能较差的技术问题。本发明的方法:一、配置硝酸铟溶液,过滤;二、量取步骤一所得溶液,高速旋涂于晶圆级尺寸的基底上,进行加热除杂后再受热分解,得到氧化铟薄膜,再对氧化铟薄膜进行高温退火处理;三、对氧化铟薄膜置于CVD炉中进行原位硒化处理,得到大尺寸二维In2Se3薄膜。本发明合成得到的二维In2Se3薄
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113445025 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110620178.6 H01L 21/02 (2006.01)
(22)申请
您可能关注的文档
- 一种五子培动棋及其使用方法.pdf
- 虚拟对象的控制方法及装置、存储介质、电子装置.pdf
- 一种用于高尿酸和痛风人群的营养素组合物配方和保健食品.pdf
- 一种促进猪禽采食的液体酸化剂及其制备方法和应用.pdf
- 车辆测试系统和车辆测试方法.pdf
- 模型更新方法、装置、存储介质及电子设备.pdf
- 一种新型PTFE预成型设备.pdf
- 对象重识别方法以及电子设备、存储装置.pdf
- 一种含有II型蛋白聚糖促进皮肤修复提高弹性的护肤品.pdf
- 一种复合活性肽促进皮肤胶原蛋白分泌生成的化妆品组合物.pdf
- 【可行性报告】2023年消费大数据相关项目可行性研究报告 .pdf
- 米易仙山矿业米易县仙山尾矿库环评报告书.pdf
- 旺苍县三合水库工程环评报告书.docx
- 甘肃汉隆化工有限公司医药、农药中间体和农药原药生产线项目环评报告书.pdf
- 镇江市瑞祥铝业科技有限公司新建年产1万吨铝制品生产线项目(报告书.pdf
- 年产100万吨智能重介质选矿项目环境影响报告书.pdf
- 江西兄弟医药有限公司维生素B3维生素B5及其中间体环保提升技术改造项目环境影响评价报告书.pdf
- 韶耒电厂两台60MWCFB锅炉掺烧生物质技术改造项目环境影响报告书.pdf
- 阳新县石灰赛湖水生态修复工程环境影响报告书.pdf
- 石灰窑老旧装置提升改造项目环评报告书.pdf
文档评论(0)