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本发明公开了一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法，属于单晶硅棒检测技术领域。一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置，包括底座，还包括：滑动连接在所述底座上的第一安装板；固定连接在所述第一安装板侧壁的第二安装板；本发明通过四根安装杆将单晶硅棒夹住，使中心杆的轴线与单晶硅棒的轴线处于同一条直线，通过使两根中心杆与单晶硅棒两端的端面中心点相抵，快速准确的测量出单晶硅棒的长度，然后使安装筒转动，使测量杆转动，对单晶硅棒端面进行整体测量，快速测量出多组数据，从中取出最大值，利用最大值减去测量杆端点与中心
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113532291 B
(45)授权公告日 2021.12.17
(21)申请号 202111077852.7 G01B 11/26 (2006.01)
(22)申请日
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