一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列装置及检测方法.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列装置及检测方法.pdf

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本申请提供了一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列检测装置，所述装置包括：薄膜式电路基板；所述薄膜式电路基板的前表面设置有N行感应叉指电极，N为不小于2的整数；所述薄膜式电路基板的前表面设置有M列激励叉指电极，所述M列激励叉指电极与所述N行感应叉指电极交叉设置，M为不小于2的整数；每两行相邻所述感应叉指电极设置有屏蔽叉指电极；其中，每两列所述激励叉指电极，以及每两行所述感应叉指电极之间并联设置。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113465488 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110675040.6 审查员李想 (22)申请日 2021.06.17