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本申请提供了一种太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：将硅片放置于反应炉内，并使得炉口的温度为第一温度，炉体的温度为第二温度，第一温度低于第二温度；调整炉内气压为第一预定气压，沿炉口向反应炉内通入硅源及氧源；调整炉内气压至第二预定气压，开启等离子源，激发氧源变为氧等离子体，激发硅源变为硅等离子体，氧等离子体与硅等离子体反应后沉积于硅片上；向反应炉内通入惰性气体。本申请提供的太阳能电池的制备方法，通过提升隧穿氧化层的均匀性，可提升整体电池效率，进而提高发电效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113540293 B
(45)授权公告日 2021.11.26
(21)申请号 202111074338.8 C23C 16/40 (2006.01)
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