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12. KLA 自动外观检查 谭莉、田广彦、黄翔、沈洵 自动外观检查是通过光学 CCD Camera，对相邻象素之间感度的比较来判断缺陷的有无，从而将缺陷的个数、位置检测出来，并对缺陷进行分类和确认。自动外观检查设备主 要由两个部分组成：①自动外观检查装置 ②外观检查 Review 装置（外观检查的辅助设备）。以下对两个装置分别加以说明（KLA 为厂商名）。 一、自动外观检查装置 1、目的 判断缺陷的有无，检出缺陷的个数和缺陷在基板上的位置。 2、适用工程 ⑴产品检查 ①G 检 主要用于 SFT 型。对 G 层光刻胶剥离后的 G-Short、G-Open 进行全检，对发生 G-COM 短路的基板进行抽检。 ②最终检查 （全检） 阵列基板全部完成后的全数检查，对 SFT 和 TN 都适用。阵列基板以点缺陷发生的概率较高。 ⑵工艺检查 ①CVD 成膜后的检查 （抽检） 可用来确认 CVD 装置的发尘状况。 ②Inline PR 后的检查 （抽检） 防止 Inline PR 装置突发性的异常，及时对设备进行维护。 ③共通缺陷检查 （抽检） 防止曝光时由于 Mask 上的异物，而引起在基板的同一处产生同一缺陷。 ④刻蚀异常和剥离残余的检查 量产时，先进行 Array Test，当异常原因无法检测出来时，再利用 KLA 自动外观检查装置对每一道工序进行检查；而条件设定初期，对每一次刻蚀和剥离