基板载置台及基板处理装置.pdfVIP

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本发明提供恰当地控制用于载置基板的载置面的温度的基板载置台及基板处理装置。该基板载置台具有：载置台主体，在该载置台主体的内部具有被冷却面；以及供给流路形成构件，该供给流路形成构件由导热性较所述载置台主体低的材料形成，且具有朝向所述被冷却面喷射制冷剂的冷却喷嘴。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113451198 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110266661.9 (22)申请日 2021.03.11 (30)优先权数据

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