一种同质集成器件及制备方法.pdfVIP

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2023-06-24 发布于四川
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一种同质集成器件及制备方法.pdf

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本申请提供的同质集成器件，包括衬底(1)、非特异掺杂层(2)、n型掺杂层(3)、多量子阱层(5)、p型掺杂层(6)、n型接触电极(4)、p型接触电极(7)及光波导结构(30)，本申请提供的同质集成器件，得益于激光蚀刻蓝宝石结合金属掩膜保护工艺，可以高效制备空气/氮化物/空气光波导结构，其介电常数差异大，光耦合效率更高；得益于p型接触电极中的Ag/Al材料，可有效反射p面出射的可见光/紫外光，可提高探测器接收到的光强；得益于n型接触电极中的Ag/Al材料，可有效从侧面反射可见光/紫外光，并将光集中

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116314354 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211725754.4 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2022.12.