MEMS麦克风及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-24 发布于四川
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MEMS麦克风及其制造方法.pdf

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本申请公开了一种MEMS麦克风及其制造方法，该制造方法包括如下步骤：在基底的第一表面上依次形成第一牺牲层、振膜、第二牺牲层和背板，并在背板上形成多个背板声孔，背板声孔露出部分第二牺牲层；在背板上形成第三牺牲层，第三牺牲层填充背板声孔，且第三牺牲层的周向边缘处露出部分背板；在第三牺牲层上和第三牺牲层周向边缘处露出的部分背板上形成盖板，并在第三牺牲层上的盖板中形成多个盖板声孔，盖板声孔露出部分第三牺牲层；在基底的第二表面形成背洞，释放第一牺牲层、第二牺牲层和第三牺牲层。根据本申请的MEMS麦克风及其

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116300533 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211731901.9 (22)申请日 2022.12.30 (71)申请人绍兴中芯集成电路制造股份有限公